Jump to the content of the page

Fischer X-RAY and Neutron Optics

 

การพัฒนาและผลิตเลนส์คาพิลลารีความแม่นยำสูงสำหรับการสร้างลำแสงของรังสีเอกซ์เป็นความสามารถหลักทางเทคโนโลยีของ Helmut Fischer GmbH ส่วนประกอบเหล่านี้เป็นพื้นฐานสำหรับเครื่องเอ็กซ์เรย์ไมโครบีมที่ทันสมัยโดย Fischer สำหรับการวัดบนโครงสร้างขนาดเล็ก

 

การประยุกต์ใช้งาน

การวัดผิวเคลือบที่บางและบางมาก และการวิเคราะห์ระบบหลายชั้นที่ซับซ้อน:

  • การเคลือบบนเวเฟอร์ซิลิคอนและ PCBs
  • การวัดปริมาณ Ag ในการบัดกรีกระแทก
  • ส่วนประกอบ SMD
  • Plug-in contacts
  • ลีดเฟรม
  • องค์ประกอบไมโครสเกลและการจับคู่ความหนาของเลเยอร์

การพัฒนาและการผลิตเลนส์คาปิลลารีความแม่นยำสูงสำหรับการสร้างรูปร่างเอ็กซ์เรย์เป็นหนึ่งในความสามารถทางเทคโนโลยีหลักของเรา ด้วยส่วนประกอบเหล่านี้ เครื่องมือ XRF ของ Helmut Fischer สามารถวัดบนส่วนประกอบและโครงสร้างจุลภาคที่เล็กที่สุดได้ ในฐานะหนึ่งในผู้ผลิตเพียง 2 รายทั่วโลก เรารับประกันนวัตกรรมและความแม่นยำในการวัดสูงสุด

ความสำคัญของเลนส์โพลีคาพิลลารีสำหรับการวิเคราะห์ด้วย XRF

นอกเหนือจากการใช้แหล่งกำเนิดไมโครโฟกัสที่มีความสว่างสูงและเครื่องตรวจจับการกระจายพลังงานที่มีประสิทธิภาพแล้ว การประยุกต์ใช้เลนส์โพลีคาพิลลารียังเป็นปัจจัยชี้ขาดสำหรับประสิทธิภาพการวัดที่ดีที่สุดของสเปกโตรมิเตอร์ XRF เลนส์โพลีคาพิลลารีจะรวมลำแสงกระตุ้นที่จุดเล็กๆ ที่ความเข้มสูงมาก ซึ่งทำให้เวลาในการวัดลดลงอย่างมาก การพัฒนาสมัยใหม่ในด้านนาโนเทคโนโลยีและไมโครอิเล็กทรอนิกส์กำลังเพิ่มความต้องการความละเอียดเชิงพื้นที่ให้ดีขึ้นกว่าเดิม เป็นเวลานาน ความละเอียดเชิงพื้นที่ในช่วงพลังงานสูงของลำแสงเอ็กซ์เรย์ถูกบดบังด้วยเอฟเฟกต์รัศมี ผลกระทบนี้นำไปสู่การเสื่อมสภาพอย่างมีนัยสำคัญของความละเอียดด้านข้างของจุดตรวจวัดบนพื้นผิวตัวอย่าง และทำให้เกิดการกำหนดองค์ประกอบที่ผิดพลาดในการวิเคราะห์วัสดุเชิงปริมาณ ด้วยประสบการณ์หลายปีและงานพัฒนาที่มีประสิทธิภาพ เราจึงไม่เพียงแต่สามารถลดเอฟเฟกต์ฮาโลได้เท่านั้น แต่ยังสามารถผลิตเลนส์โพลีคาพิลลารีที่ปราศจากฮาโลได้อีกด้วย

Capillary optics as sharp X-ray probes

ที่ Helmut Fischer คุณได้รับประโยชน์จากความรู้ความชำนาญเกือบ 30 ปีในการพัฒนาโพลีคาปิลลารีที่ปรับให้เหมาะสมที่สุดสำหรับการใช้งานที่หลากหลาย ออปติกขึ้นอยู่กับผลกระทบของการสะท้อนภายนอกทั้งหมดบนพื้นผิวเรียบด้านในของ glass capillaries มุมวิกฤตของการสะท้อนทั้งหมดขึ้นอยู่กับพลังงานของลำแสงเอ็กซ์เรย์ ความหนาแน่นของวัสดุสะท้อนแสง และความขรุขระของพื้นผิวสะท้อนแสง เนื่องจากแก้วมีความหยาบต่ำมาก แก้วจึงเป็นวัสดุที่มีประสิทธิภาพสำหรับการผลิต capillary optics เลนส์แคปิลลารีแตกต่างกันในแง่ของจำนวนการสะท้อนบนพื้นผิวด้านในของ capillary เรามีการออกแบบเฉพาะในกลุ่มผลิตภัณฑ์ของ Fischer: Monocapillaries ที่มีรูปร่างทรงกระบอก วงรี หรือพาราโบลา รวมถึงโพลีคาปิลลารีที่หลากหลาย ภาพรวมของวิธีการวิเคราะห์เอ็กซ์เรย์แบบต่างๆ ที่ใช้เลนส์คาปิลลารีแสดงไว้ในตาราง:

Capillary optics for various X-ray analytical applications

Focusing polycapillary lenses
 
Polycapillary half-lenses

Polycapillary structures

XRD

XRF

XRD-parallel collimating

Imaging

µ-XRD

µ-XRF

3D-XRF-focusing

Full-field applications

Stress

3D-XRF
   

Texture

SEM
   

Single crystal

Archaeometry
   

Geology
     

Photovoltaics
     

โฟกัสที่ตัวนำแสงเอกซเรย์

ตัวนำแสง X-ray เป็นโมโนคาพิลลารีทรงกระบอกที่ประสานลำแสงเอ็กซ์เรย์และจำกัดความแตกต่างของลำแสงเอาต์พุต เมื่อเปรียบเทียบกับรูเข็มซึ่งใช้เป็นคอลลิเมเตอร์ในดิฟแฟรกโตเมตรีด้วย ตัวนำแสงเอ็กซ์เรย์จะเพิ่มความเข้มของตัวอย่างได้ 2 ถึง 10 เท่า

มุ่งเน้นไปที่โมโนคาปิลลารีรูปวงรีหรือพาราโบลา

โมโนคาปิลลารีทรงรีหรือพาราโบลาเป็นองค์ประกอบทางแสงสำหรับการถ่ายภาพที่มีการสะท้อนแสงทั้งหมดที่ไม่เหมือนใคร ขนาดของจุดโฟกัสของ capillary รูปวงรีนั้นพิจารณาจากทั้งขนาดและรูปร่างของแหล่งกำเนิดและความแม่นยำในการผลิตของ capillary ที่มีรูปทรงพาราโบลาจะโฟกัสลำแสงคู่ขนานไปยังจุดโฟกัสหรือทำให้ลำแสงไดเวอเจนต์ของแหล่งกำเนิดจุดนั้นขนานกัน ลำแสงซินโครตรอนโฟกัสไปที่จุดเล็กๆ สูงสุด 250 นาโนเมตร

โฟกัสที่เลนส์โพลีคาปิลลารี

เลนส์ Polycapillary เป็นระบบเสาหินที่มีรูปทรงพิเศษซึ่งทำจากหลอดแก้วจำนวนมาก เลนส์ Polycapillary ใช้ในการขนานหรือโฟกัสลำแสงที่แตกต่างกัน เอาต์พุตไดเวอร์เจนซ์ของเลนส์แบบ half-lens ที่ปรับเทียบกันสำหรับการเลี้ยวเบนของแสงนั้นอยู่ในช่วงมิลลิเรเดียนสองสามตัว โดยการส่งผ่านจะสูงถึง 60% พารามิเตอร์ทั้งสองขึ้นอยู่กับพลังงาน 

Capillaries ถูกรวมเข้ากับเครื่องวิเคราะห์ XRF ของ Fischerต่อไปนี้

Jump to the top of the page